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透射電鏡與掃描電鏡
實驗介紹
透射電子顯微鏡（transmission electron microscope，TSE）是利用透射電子成像，因而要求樣品極薄厚度不能超100nm。其結(jié)構(gòu)包括三大部分：電子學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電子光學(xué)系統(tǒng)。
掃描電子顯微鏡 (scanning electron microscopy，SEM) 是利用聚焦的非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試樣表面形貌的觀察。其結(jié)構(gòu)由真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)組成。
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